通過提升正常運行時間、減少對環境的影響以及良好的成本效益，Edwards iXM 低能耗系列干式泵可為您的關鍵應用帶來真正的制程改進。

• ·高效的根源機制可將輸入功率減少多達 60％，從而減少對環境的影響并降低總體使用成本
• ·氣體阻隔技術和熱設計方面的改進使產品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍
• ·出色的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供高可靠性，并延長真空泵使用壽命 
• ·降低 CVD 工藝的功耗
• ·緊湊輕巧的設計，加上非常低的噪聲和振動，讓您盡享多用途的便利
• ·iXM 系列采用 XCEDE 技術，增強了耐腐蝕性。